イオン顕微鏡（イオンけんびきょう）は電子顕微鏡の電子の代わりに陽子、ヘリウム、リチウムなどのイオンビームを使って拡大像を得る装置。イオンの物質波の波長は電子より短いので、同じ加速電圧の電子顕微鏡より分解能が高く、結晶面の原子配列を観察できる。1951年米国のE.W.ミュラーが創案。
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