探針のソースを表示

'''探針'''（たんしん）とは、測定試料の特定部位に近付けて試料の物理的、電気的、機械的特性を測定する検出器の一部を構成する部品であって、多くの場合、針のような形状をしている。'''プローブ'''ともいう。[[気象学]]などでは、しばしば[[ドイツ語]]で'''ゾンデ'''と言う。

== 様々な探針 ==
[[ファイル:Dental Explorer.jpg|thumb|200px|歯科医療用の探針]]
* 歯科検診で使われる先端が鋭利に尖った棒状の検査用具も探針と呼ばれる。エクスプローラとも。[[歯周ポケット]]の深さを測定するポケット探針などがある。<!-- キュレット、スケーラ、プローブ -->
* [[痔]]の一種である[[痔瘻]]の深度を計測する際に用いる金属棒も深針（ゾンデ）と呼ばれる。瘻孔部から直接ゾンデを挿入し、直腸部に到達した（或いは最深部に到達した）箇所で止め、マジック等で深針に印を付ける。
* [[オシロスコープ]]などの測定機器で、測定対象と測定機器を接続するのに使われるアクセサリもプローブと呼ばれる。測定対象に押し当てる先端の尖った針と測定対象のグランドに接続する端子からなる電圧プローブ（10:1プローブ）や2点の電圧差を測定できる差動プローブ、その他、高電圧プローブ、フローティングプローブ、電流プローブ、FETプローブなどがある。
* [[プラズマ]]中の[[電子温度]]など様々な特性を測定するための探針は、静電探針（静電プローブ）または[[アーヴィング・ラングミュア|ラングミュア]]プローブと呼ばれる。
* [[段差計]]や[[走査型プローブ顕微鏡]]において測定試料に接触させて試料の凹凸をとらえて走査する突起も探針（プローブ）と呼ばれる。
* [[遺伝子]]の解析などに用いられる分子もプローブと呼ばれる。ただ針の形状をしていないので探針とは呼ばない。

== 探針が使われている装置 ==
; [[プローバー]]
: 半導体ICの電気特性を調べるための装置。電極に金属プローブ（[[プローブカード]]）をあてて使用する。
; [[触針式段差計]]（スタイラスプロファイロメータ）
: 片持ち梁（カンチレバー）の先端についた先端が尖ったダイアモンドのチップ（スタイラス）で、半導体ウェーハなどの測定試料表面をなぞりその凹凸を測定する機械。なぞった直線上の荒さを紙やモニター上に拡大表示し、荒さや段差の程度を定量的に知ることができる。
; [[走査型プローブ顕微鏡]]
: 走査型プローブ顕微鏡においては、機械的に試料に作用するプローブ (mechanical probe) を指す。探針を自由端に有する[[カンチレバー]]を探針（プローブ）と呼ぶ場合もある。
: 原子間力顕微鏡 (AFM) などの走査型プローブ顕微鏡に用いられる探針は、測定試料に対して機械的に接触あるいはほぼ接触状態におかれ、試料表面をなぞる。プローブ先端は曲率半径で10nm前後まで尖っている探針を有するカンチレバーが市販されている。曲率半径が小さい探針ほど分解能が上がる。探針材料として単結晶シリコンもしくは窒化シリコンがよく使われている。その他、[[カーボンナノチューブ]] (CNT) を接着した探針や、[[電子顕微鏡]]中で電子ビームを照射して堆積されるEBD (Electron Beam Deposition) 探針、など数nm曲率半径を有する探針も市販されている。

<!-- == 脚注 ==
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== 参考文献 == <!-- {{Cite book}} --> <!-- {{Cite journal}} -->
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== 関連項目 ==
<!-- {{Commonscat|Probe}} -->
* [[プローブ]] - [[蛍光プローブ]]
* [[スタイラス]]

== 外部リンク == <!-- {{Cite web}} -->
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{{デフォルトソート:たんしん}}
[[Category:半導体製造]]
[[Category:顕微鏡]]