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'''ソープションポンプ''' ('''Sorption Pump''') は[[真空ポンプ]]の一種で、[[多孔質]]の[[吸着剤]]を[[液体窒素]]で冷却し、気体分子を物理吸着させて排気するものである。吸着剤としては[[モレキュラーシーブ]](人工[[ゼオライト]])や[[活性炭]]などが用いられる。機械的な動作部分が無いため、油蒸気などはよく除去できるが、物理吸着を利用するため、[[水素]]分子、[[ヘリウム]]、[[ネオン]]などはほとんど除去することができない。そのため、先に別のポンプで排気した後にソープションポンプを用いないと、これら[[希ガス]]類などが残ってしまい、期待されるほどの[[真空]]は得られない。

また、吸着剤に吸着した気体分子は、未使用時に常温に戻して放出してやらねばならない。この際、水分子は特に強く吸着されているため、400 [[ケルビン|K]] 程度の加熱が必要である。この加熱の際には大量の気体分子がソープションポンプから放出されるので、排気経路の確保が重要であり、密閉したままの加熱は非常に危険である。

==関連項目==
*[[真空ポンプ]]
*[[多孔質]]
*[[吸着剤]]

[[Category:ポンプ|そふしよんほんふ]]