薄膜のソースを表示

'''薄膜'''（はくまく）とは薄い[[膜]]のこと。分野によって定義が異なる。

# [[表面物理学]]での'''薄膜'''(Thin film)は、試料基板上に[[蒸着]]や[[スパッタリング]]等の手法を使って作られる、数～数十層からなる原子層のこと。
# [[ソフトマター]]での薄膜は、[[両親媒性分子]]を参照。

以下の項目は1の'''薄膜'''についての記述となっている。

==製造方法==
薄膜は、[[PVD]]（Physical Vapor Deposition:物理気相成長法：スパッタリング、蒸着など）、[[化学気相成長|CVD]]（Chemical Vapor Deposition:化学気相成長法）と[[エピタキシャル成長]]を利用したエピタキシーなどがある。1番目と2番目は主に[[光学]]薄膜の製造に利用され、3番目は主に[[半導体]]薄膜に利用されている。

==薄膜の分類==
薄膜は膜の厚みによって分類され以下のようになる。
* 膜の厚みが数10μmならば厚膜
* 膜の厚みが数μmならば薄膜
* 膜の厚みが数nm以下ならば超薄膜
また、薄膜の持つ特性から[[コールドミラー]]コート、バンドパスフィルター、反射防止コートなど様々な種類に分類されている。

==薄膜の測定==
薄膜の厚みは2種類測定される。1つ目は物理膜厚と呼ばれる単なる薄膜の厚みであり、これは[[水晶振動子]]と呼ばれる電圧をかけると振動して周波数を発生させる機器を用いる。2つ目は光学膜厚と呼ばれるもので膜の厚みに膜の持つ[[屈折率]]をかけることで得られるものである。実際には、光学膜厚は計算ではなく、[[光学]]モニターによって測定されている。

==薄膜の評価==
薄膜を評価する方法は多数存在し、[[電子線]]を用いる方法（LEED、[[SEM]]、[[TEM]]など）、[[イオン]]を用いる方法（ISS、[[SIMS]]など）、[[X線回折]]を用いるものや応力検査などがある。

==関連項目==
* [[平均自由行程]] (mean free path)
* [[膜厚分布]]
* [[薄膜光学]]
* [[光学薄膜]]
* [[構造色]]

==外部リンク==
* [http://www.youtube.com/watch?v=YSX-go4BeF4 “薄膜と皆さんの関係”毎日の生活における皆さんと薄膜の関係に関するアニメーションビデオ]

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[[Category:薄膜|*]]
[[Category:物理学]]
[[Category:物質]]
[[Category:太陽電池]]