サーフェイスマイクロマシニング

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サーフェイスマイクロマシニングは、MEMS（マイクロマシン）作製技術の一つ。 薄膜（数μm程度）を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。

集積回路作製技術に犠牲層エッチングを付加したもの。

  1. 成膜
  2. リソグラフィ
  3. エッチング

の繰り返しでデバイスを作製する。

関連項目

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