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'''オージェ電子分光'''(オージェでんしぶんこう)は、[[電子分光]]のひとつ。 == 概要 == [[原子]]の[[内殻電子]]を[[X線]]や[[電子ビーム]]で放出させると、励起状態イオンが生成するが、励起状態イオンは(1)[[特性X線]]を放出する、(2)内殻軌道に外殻電子が遷移し、そのエネルギーをもって他の外殻電子が放出され、多重イオン化する、のいずれかの過程で脱励起する。 (2)の過程はオージェ過程と呼ばれ、[[ピエール・オージェ]]が[[1925年]]に発見した。放出される[[オージェ電子]]の[[運動エネルギー]]は、内殻電子と2個の[[外殻電子]]の束縛エネルギーから算出され、これら束縛エネルギーは原子毎に固有なことから、3電子過程を行い得ない[[水素]]、[[ヘリウム]]以外の元素を検出分析することができる。測定は、真空中でX線または電子線を測定対象に照射し、放出される電子の速度(運動エネルギー)を分析、検出する電子分光器を用いる。測定対象は気体分子または固体表面に限られるが、ことに固体では中速電子線の励起深さ、脱出深さが数nm以下に限られるので、最表面の分析手法として最も利用価値が高い。固体表面の清浄度、組成、吸着種、[[薄膜]]等の検出・測定に広く用いられている。 == 関連項目 == *[[ピエール・オージェ]] *[[オージェ電子]] {{DEFAULTSORT:おしえてんしふんこう}} [[Category:分析化学]] [[Category:分光学]]
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