ゲッターポンプ

ゲッターポンプ (Getter Pump) は、チタンのゲッター作用により排気する真空ポンプである。サブリメーションポンプ (Sublimation Pump) とも呼ばれる。

構造は、活性金属（通常はチタン）製のフィラメントと、水などで冷却されたケースからなる。フィラメントを加熱して蒸発させると、ケース内壁にチタンの清浄な膜を生成する。チタンは化学的に活性な為、水素・酸素・窒素・一酸化炭素もしくはその他の活性ガスを化学的に吸着し、真空度を上げる。イオンポンプと異なり、ヘリウム等の不活性気体は排気できない。また、構造上可動部分はないがフィラメントを蒸発させるため寿命がある。

通常はイオンポンプやターボ分子ポンプ等と併用される。排気量はチタンの蒸着速度とケースの表面積によるが、イオンポンプよりも比較的排気量が大きいため、超高真空成膜装置において成膜直前に真空度を上げるために使われる場合がある。